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AFM-SEM 同步聯(lián)用技術(通用版)

更新時間:2025-05-27
產(chǎn)品型號:LiteScope
所屬分類:拓展硬件
描述:AFM-SEM 同步聯(lián)用技術(通用版)SEM 與 AFM 是亞納米級樣品分析中應用廣泛且互補的兩大技術。將 AFM 集成至 SEM 中可融合兩者的優(yōu)勢,實現(xiàn)超高效工作流程,完成傳統(tǒng) AFM 和 SEM 難以或無法實現(xiàn)的極限性能和復雜樣品分析。
詳情介紹

AFM-SEM 同步聯(lián)用技術(通用版)

產(chǎn)品簡介

革命性的原子力顯微鏡(AFM),可實現(xiàn)與掃描電子顯微鏡(SEM)的無縫集成,為原位關聯(lián)顯微鏡開辟新可能。

憑借優(yōu)化設計,LiteScope AFM 兼容賽默飛世爾、TESCAN、蔡司、日立、JEOL 等主流品牌 SEM 系統(tǒng)及其配件,其他品牌電鏡亦可定制適配。

 

測量模式:

• 機械性能:AFM,能量耗散,相位成像

• 電性能:C-AFM、KPFM、EFM、STM

• 磁性能:MFM

• 電機械性:PFM

• 光譜學:F-z

 曲線,I-V 曲線

• 相關性分析:CPEM


AFM-SEM 同步聯(lián)用技術(通用版)

實用特點

  • 原位樣品表征

在 SEM 內(nèi)部的原位條件下確保樣品分析同時、同地、同條件下進行,并且在飛納電鏡內(nèi)部也能實現(xiàn)原子級分辨率

  • 精確定位感興趣區(qū)域

    SEM 與 AFM 原位聯(lián)用,保證了同一時間、同一地點和相同條件下的分析 使用 SEM 畫面,實時觀測探針與樣品的相對位置,為探針提供導航,精準定位

  • 實現(xiàn)復雜的樣品分析需求

    提供電氣、磁學、光譜等多種測量模式,且能同一位置直接聯(lián)用 SEM 及 EDS 功能。同時獲取 AFM 與 SEM 數(shù)據(jù),并將其無縫關聯(lián)



應用案例

鋼和合金的復合分析

利用原子力顯微鏡對雙相鋼進行復合分析,揭示了表面形貌(AFM)、鐵 氧體晶粒的磁疇結構(MFM)、晶粒相比(SEM)和表面電位雜質(zhì)開爾文 探針力顯微分析法。 • 相關多模態(tài)分析揭示了復雜的性質(zhì) • 掃描電鏡精確定位 ROI,AFM 綜合分析


電池的原位表征

固態(tài)電池(SSB)比鋰離子電池顯示出更高的能量密度、更長的壽命和更 好的安全性。由鋰鎳錳鈷氧化物(NMC)顆粒組成的正極膠帶在手套箱中 經(jīng)過 200 個周期后被打開,原位切割并使用 AFM-in-SEM 測量。

 樣品提供: Aleksandr Kondrakov, BELLA (DEU)

• 在 CAM 橫截面處對局部電導率(C-AFM)進行表征

• 無需空氣暴露即可原位制備敏感 CAM


納米線的優(yōu)良表征

懸掛蜘蛛絲納米線因其機械性能而被研究,通過超精確定位AFM 尖在懸掛的納米線上。力-距離光譜學使得確定納米線的彈性和塑性 變形成為可能。

樣品提供: Linnea Gustafsson, KTH (SWE)

• SEM: 精確定位 AFM 尖和納米線變形的實時觀察

• 分析屬性如楊氏模量和抗拉強度




選配件

納米壓痕模塊

納米壓痕模塊能夠在使用超高倍數(shù)掃描電子顯微鏡觀察樣品的同時進 行微機械實驗,并利用 LiteScope 以亞納米級分辨率對壓痕樣品進行 分析

NenoCase 與數(shù)碼相機

在環(huán)境條件或不同氣氛下將 LiteScope 作為獨立 AFM 使用,通過數(shù)碼 相機精確導航探針。

樣品旋轉(zhuǎn)模塊

適用于 FIB 后進行 AFM 分析。此外還允許同時安裝多個樣品實現(xiàn)在不 打開 SEM 腔室的情況下即可對多個樣品進行測試。




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